Equipment

Sumitomo's ozone generator adopt the flat plate type discharging cell which convert oxygen to ozone by electric power.
The ozone concentration is over 400g/m3(N) which is at the top-class in the market.

Spin type cleaning system compatible with high definition photomask

•High speed diffusion of fluid    to the cleaning surface
•Rapid elimination of contamination and reaction products
•Water markless drying

本装置は、キセノンショートアークランプを主体に独自開発の光学フィルター・光学レンズ等を搭載することにより、太陽光に近似した光を人工的に生成します。