Equipment

These temperature controllers are ideal for use with infrared heating systems and electric furnaces. The wide model lineup ranges from advanced-function programmed temperature controllers to low-cost constant-value temperature controllers.

エミネントスプレイ技術（特許取得）により均一性の高いエッチング精度を誇るDESラインです。薄物基板の安定搬送やRoll to Rollにも対応。

Features
1.High precision discharge pump
2.High precision nozzle
3.Applicable to high speed coating
4.Applicable to transfer robot
5.Safety cover with lock mechanism
6.Nozzle tip management unit
7.Automatic supply sysem of coationg liquid and cleaning liquid
8.Reduce comtact damage of substrate backside by air floating
9.No static electricity problem by air floating
10.Applicable to high speed throughput by continuous substrate input
11.Package deal with vacuum chamber dryer
12.Many delivery records

Features
1.High precision discharge pump
2.High precision nozzle
3.Applicable to high speed coating
4.Applicable to transfer robot
5.Safety cover with lock mechanism
6.Nozzle tip management unit
7.Automatic supply sysem of coationg liquid and cleaning liquid
8.Package deal with vacuum chamber dryer

PP発泡成形ソフトボックスは軽量で柔軟性に富み、優れた衝撃吸収性と耐久性がガラス基板の通函に適しています。基板取り出しの自動機に対応した設計で、帯電防止タイプも製作可能です。発泡BOXの品種により0.4mm・0.5mmのガラス基板にも対応しています。

小型基板サイズ違いにも対応したカセット。位置変更が可能です。

基板受けにワイヤ－を使用、高い張力にて撓みを抑制しています。

SUSフレ－ムを使用、BSはCFRPの円錐タイプにて振動減衰、軽量化された製品です。

SUSフレ－ムを使用、BSはCFRPの円錐タイプにて振動減衰、軽量化された製品です。

樹脂＋金属の複合品にて構成。0.3mm以下の基板にはBSタイプもあります。

樹脂カセットタイプ、左右からの側板タイプが主流です。

The Polishing cleaner will rotate the disc unit to polish and clean the surface of LCD panel by directly pressing and polishing.
Besides, this cleaner is also used the latest cleaning technologies such as Slit nozzles, taking into account foreign matter removal, cleaning efficity, and shortening of Tact Time.
It can be integrated with the polarizer attaching machine, providing  high-yield performance of equipment.